ASML: Marad a lézeres plazma a chipgyártásban a részecskegyorsító helyett
Részecskegyorsítók helyett a meglévő plazmatípusú lézerforrások fejlesztésében bízik a világ egyetlen EUV-berendezéseket gyártó vállalata. Az ASML elemzései szerint a félvezetőipar számára jelenleg a lézerrel előállított plazmatechnológia jelenti a legstabilabb és leggyorsabban skálázható utat. A lézeres plazmaforrások dominanciája a félvezetőiparban A szimulációk és pénzügyi elemzések azt mutatják, hogy a holland berendezésgyártó nem kíván áttérni a szabadelektron-lézeres…
