Új gázújrahasznosító rendszerrel csökkentené a chiphiány kockázatát a Gigaphoton
Félig újrahasznosított gázzal biztosítaná a lapkagyártás stabilitását a félvezetőipari megvilágítási rendszereket gyártó Gigaphoton. A japán Gigaphoton bejelentette a mély-ultraibolya (DUV) litográfiában használt argon-fluorid (ArF) excimer lézerekhez tervezett hTGM gázújrahasznosító berendezését. A kifejlesztett eljárás tesztjei alapján a megvilágítási folyamat során felhasznált nemesgáz mintegy fél része sikeresen visszanyerhető és újra felhasználható a tiszta terekben. Stratégiai alapanyag a…